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日本HONDA本多进口石英超声波清洗机晶圆

描述:日本HONDA本多进口石英超声波清洗机晶圆 W-357-1MQG-SKC,2006年,石英振动体式超声波清洗机组在世界上投入实用。
在该方法中,通过在石英振动体上叠加超声波来清洗半导体晶片。
与间歇式清洗和流水式清洗相比,可以减少化学药品的使用量,而且由于接液部分仅为石英玻璃,不接触填料等橡胶材料,因此可以保持较高的清洁度...
此外,通过根据目的准备石英振动体的形状,可以满足低损伤清洗、大

更新时间:2022-03-21
产品型号:W-357-1MQG-SKC
厂商性质:经销商
详情介绍

日本HONDA本多进口石英超声波清洗机晶圆 

W-357-1MQG-SKC

过根据目的准备石英振动体的形状,可以满足低损伤清洗、大面积清洗、斜面部分(端面)和缺口(晶片端面切口)清洗等需求。 ). 它可以实现有效的清洁。

特点功能:

晶片的小型化、损伤低
的清洗 

■ 通过在石英振动体上叠加超声波来清洗
半导体晶片 通过化学溶液从石英振动体向半导体晶片传播超声波振动,接触部分的化学溶液振动并它的加速会清除表面的污垢。
■ 实现对半导体晶片的损伤少的清洁清洗 与
化学品接触的部分使用石英,与使用橡胶材料的设备(如填料)相比,没有橡胶溶出或磨损,可以进行清洁清洗。
■ 由于具有振荡器冷却功能,通过气体(氮气等)冷却振荡器,可以稳定地连续运行而不会发生频率波动。
此外,通过冷却,温度不会突然变化,使用寿命长。

用途:

去除抗蚀剂残留物
磨边和灰化后去除聚合物
栅电极清洗
CMP 后清洗


日本HONDA本多进口石英超声波清洗机晶圆  规格参数:


模型W-357-1MQG-SKC
振荡模式单频振荡
额定输出12W
标称振荡频率1MHz
输入功率AC100V-240V
单相 50 / 60Hz 300VA
外形尺寸
WxDxHmm
180 x 250 x 100 
(不包括突出部分,包括橡胶脚)
质量2.2公斤

产品图片

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